Возрождение идеи рентген-литографии: попытка удешевить 2-нм чипы с помощью компактных ускорителей
Переход к каждому новому техпроцессу в полупроводниковой промышленности сегодня требует все больших вложений. Ну а современные EUV-литографы стоят как не большой завод — от 200 миллионов долларов за штуку, не считая расходов на обслуживание. В этой ситуации любой альтернативный подход, который обещает снизить затраты, сразу привлекает внимание. Новинку как раз предлагает команда американского компании Substrate. Разработчики заявили , что могут выпускать чипы класса 2-нм с помощью рентген-литографии на базе компактных ускорителей частиц. Причем все это в десять раз дешевле, чем на современных системах с экстремальным ультрафиолетом. Давайте разберемся, что представляет собой эта технология, откуда она взялась и какие у нее перспективы. Заодно подробнее остановимся на рентген-литографии — ее истории, принципах и причинах возрождения.
https://habr.com/ru/companies/ru_mts/articles/967210/
#рентгенлитография #компактные_ускорители #Substrate #2нм_техпроцесс #EUV #производство_чипов #литографические_установки #полупроводники #фоторезисты